Micro系列測量機采用*的有限元分析設計方法的Micro系列測量機，在機械結構上具有剛性強、幾何誤差小的特點(diǎn)，這為三坐標測量機的提供了高精度、高性能和高穩定性的優(yōu)點(diǎn)。

機械整體結構采用剛性結構好、質(zhì)量輕的全封閉框架移動(dòng)橋式結構。其結構簡(jiǎn)單、緊湊、承載能力大、運動(dòng)性能好。
固定優(yōu)質(zhì)花崗巖工作臺，使其具有承載能力強、裝卸空間寬闊、上下工件方便快捷等特點(diǎn)。
導軌采用燕尾式設計原則，可提供高精度的精確定位以及良好可靠的穩態(tài)性能。

三軸采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，熱膨脹系數小，三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩定性、抗實(shí)效變形能力，剛性好、動(dòng)態(tài)幾何誤差變形小。
三軸均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導軌，軸承跨距大，抗角擺能力強，阻力小、無(wú)磨損、運動(dòng)更平穩。

橫梁采用精密橫梁設計技術(shù)，重量輕、重心低、剛性強，動(dòng)態(tài)誤差小，確保了機器的穩定。
采用RENISHAW反射式金屬帶狀光柵計量系統，與大多數工件具有相近的熱膨脹系數，確保了良好的重復精度。

Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩定性。
采用日本進(jìn)口高精度精密過(guò)濾系統，保證壓縮空氣的過(guò)濾精度在5um，大大降低了由于高壓壓縮空氣的質(zhì)量導致啟動(dòng)系統損壞的情況。

三軸電機均采用進(jìn)口A(yíng)METEK電機，良好的高速性能提供了高效的測量效率，優(yōu)良的低速性能為測量提供了可靠的準確度。